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Ergebnisse eines gemeinsamen Forschungsprojekts von Universität Paderborn, Infineon Technologies AG und Hesse GmbH wurden bei der IMAPS 2014, 47th International Symposium on Microelectronics in San Diego, USA im Oktober 2014 präsentiert.

Kurzfassung
Um Selbstoptimierungstechniken in Ultraschall-Drahtbondern zu implementieren, ist ein Modell der Vorverformung unverzichtbar, denn aufgrund dieser Kaltverformung ändern sich die Materialeigenschaften abrupt. Untersuchungen bestätigen einen signifikanten Einfluss auf die Materialeigenschaften der Kontaktpartner während der Touchdown-Phase. Im ersten Schritt wird in diesem Artikel die Bedeutung einer solchen Modellierung experimentell belegt. Im zweiten Schritt wird eine auf einem Finite-Elemente-Modell basierende numerische Untersuchung der elastoplastischen Verformung vorgestellt. Dieses Modell beinhaltet gemessene Überschwinger der Touchdown-Kraft, um genaue Ergebnisse zu erreichen. Eine Validierung anhand der resultierenden nominellen Kontaktfläche, des Kontaktdrucks und der Eindrucktiefe belegt die hohe Qualität des Modells.

3D finite element model of wedge wire bonding

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